当前高效过滤器的效率从99.9%~99.999999%都可供采用。合理选用高效过滤器的效率及其迎面风速带来综合经济效果。 同材质的过滤器,效率高的其阻力亦大、价格亦高反之则都降低,若改变风速则阻力、效率及数量亦变化,需要按具体情况合理选用。 (1)一般原则是效率较高的HEPA或ULPA可选用以达到高洁净度要求,低的洁净度要求不严的可使用效率较低的HEPA过滤器。 (2)高发尘量下,过滤器效率的变化,对洁净室洁净度的影响不大,因此洁净度要求不高的洁净室不宜选用较高效率的高效过滤器。 (3)低发尘量下,较高效率的高效过滤器在低风速时对洁净室洁净度有明显的好处,因此,对要求严的洁净室在选用较高效率过滤器的同时降低其迎而风速。
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