洁净度级别 | ISO/DIS14664.4 参考值 | 我国规范GB50073.2001推荐值 | IEST.RP-012 推荐值 | 国外某洁净室设计制 造工程公司对过滤器 满布率的推荐值 | 医药洁净 厂房设计 规范1997 | ISO l | | | | | | ISO2 | 0.3~0.5 m／s | 0.3~0.5 m／s | 0.3～0.5 m／s | 80~100％(ULPA) | | ISO3 | 0.3~0.5 m／s | 0.3~0.5 m／s | O.3~0.45 m／s | 60~100％(ULPA) | | ISO4 | 0.3~0.5 m／s | 0.3~0.5 m／s | 0.25~0.45 m／s | 50~90％(ULPA) | | ISO5 | 0.2~0.5 m／s | 0.2~0.5 m／s | 0.2~0.4 m／s | 30~70％(HEPA) | | ISO6 | 0.1~0. m／s | 50～60次／h | 150～240次／h | 25~40％(HEPA) | | 70~160次/h (M或N) | ISO7 | 30~70次／h | 15～25次／h | 60~90次／h | 15~20％(HEPA) | ≥25 | ISO8 | 10～20次／h | 10~15次/h(8~9级) | 5～48次／h | 5～15％(HEPA) | ≥15 | ISO 9 | | | | | ≥12 |
注: 1.ISO 14644—4对于气流速度，换气次数是明确作为参考资料的，表中所列仅适用于微电子及IC工厂;对制药厂只列出IS05级气流速度>0.2m/s，对IS06～8级皆未列出参考值。 2.(M)指混合流，N指非单向流：*指对污染已采取有效的隔离措施的洁净区。 当前趋势 近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守。其论点可归纳为： (1) 洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1 m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能;而大于0.36m/s的气流速度反而易造成涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净室的理想自净时间Tr=体积，流速率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少. (2) 末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得引起注意的。有的气流速度，换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。 当前，HEPA/ULPA的效率从99.97%、99.99%、99.999%、99.995%直至8个9以上都可选择。过滤器效率由99.97%提高到90.99%，意味着经过滤器后的空气含尘浓度由0.03%降至0.01%，减少3倍。 (3) 洁净服系统的“过滤”效果提高。
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